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[ 和図書 ] 半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 2000.11 -- 第5版

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中央 書庫 一般図書 R/549.8/5015/2000 5001919355 Digital BookShelf
2000/12/27 不可 利用可   0
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ISBN 4-526-04666-3
タイトル 半導体製造装置用語辞典
タイトルカナ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
著者名 日本半導体製造装置協会 ／編
著者名典拠番号

210000038870000

版表示 第5版
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版者カナ ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版年 2000.11
ページ数 588p
大きさ 22cm
価格 ¥4700
内容紹介 半導体産業の発展は日本の産業基盤強化に大きく寄与し、経済への波及効果も非情に大きい。急速な技術進展を背景に、21世紀の新技術に適用できる用語辞典をめざす。97年刊に次ぐ改訂第5版。
一般件名 半導体∥辞書
一般件名カナ ハンドウタイ∥ジショ
一般件名 半導体-辞典
一般件名カナ ハンドウタイ-ジテン
一般件名典拠番号

511311810030000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『半導体製造装置用語辞典』第5版　日本半導体製造装置協会／編 　日刊工業新聞社　2000.11（所蔵館：中央　 請求記号：R/549.8/5015/2000　 資料コード：5001919355）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1105276321

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