資料詳細

[ 和図書 ] 図解でわかる半導体製造装置

菊地正典／監修 -- 日本実業出版社 -- 2007.4 --

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ISBN	4-534-04217-0
ISBN13桁	978-4-534-04217-0
タイトル	図解でわかる半導体製造装置
タイトルカナ	ズカイデワカルハンドウタイセイゾウソウチ
著者名	菊地正典／監修
著者名典拠番号	110003070310000
出版地	東京
出版者	日本実業出版社
出版者カナ	ニホンジツギョウシュッパンシャ
出版年	2007.4
ページ数	182p
大きさ	21cm
価格	¥1900
内容紹介	「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。
一般件名	半導体
一般件名カナ	ハンドウタイ
一般件名	半導体
一般件名カナ	ハンドウタイ
一般件名典拠番号	511311800000000
分類：都立NDC10版	549.8
資料情報1	『図解でわかる半導体製造装置』　菊地正典／監修　日本実業出版社　2007.4（所蔵館：中央　請求記号：/549.8/5097/2007　資料コード：5013539644）
URL	https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1107168222