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リソグラフィー

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1 ～ 17 件（全17 件）

1
[ 和図書 ] EUVリソグラフィ技術レジスト材料・光源・露光装置技術・各種構成の変遷と現状

渡邊健夫／監修 -- AndTech -- 2023.5 -- 　　　　
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2
[ 和図書 ] フォトレジストの最先端技術（エレクトロニクスシリーズ）

遠藤政孝／監修 -- シーエムシー出版 -- 2022.9 -- 　　　　
- 中央
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3
[ 和図書 ] 最新フォトレジスト材料開発とプロセス最適化技術（エレクトロニクスシリーズ）

河合晃／監修 -- シーエムシー出版 -- 2017.9 -- 　　　　
- 中央
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4
[ 和図書 ] 半導体微細パターニング限界を超えるポスト光リソグラフィ技術

岡崎信次／監修 -- エヌ・ティー・エス -- 2017.4 -- 　　　　
- 中央
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5
[ 和図書 ] EUV光源の開発と応用（エレクトロニクスシリーズ）

豊田浩一／監修 -- シーエムシー出版 -- 2013.3 -- 　　　　
- 中央
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6
[ 和図書 ] 液浸リソグラフィのプロセスと材料（エレクトロニクスシリーズ）

東木達彦／監修 -- シーエムシー出版 -- 2012.8 -- 　　　　
- 中央
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7
[ 和図書 ] はじめての半導体リソグラフィ技術（現場の即戦力）

岡崎信次／著 -- 技術評論社 -- 2012.1 -- 　　　　
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8
[ 和図書 ] よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組みリソグラフィ技術の核心に迫る（図解入門）

佐藤淳一／著 -- 秀和システム -- 2011.10 -- 　　　　
- 中央
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9
[ 和図書 ] マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術（新材料・新素材シリーズ）

式田光宏／監修 -- シーエムシー出版 -- 2009.10 -- 　　　　
- 中央
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10
[ 和図書 ] フォトレジスト材料開発の新展開（エレクトロニクスシリーズ）

上田充／監修 -- シーエムシー出版 -- 2009.8 -- 　　　　
- 中央
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11
[ 和図書 ] 電子線リソグラフィ教本

横山浩／監修 -- オーム社 -- 2007.6 -- 　　　　
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12
[ 和図書 ] ナノテクノロジーとレジスト材料（ CMCテクニカルライブラリー 256 ）

山岡亞夫／監修 -- シーエムシー出版 -- 2007.4 -- 　　　　
- 中央
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13
[ 和図書 ] 入門フォトマスク技術 LSI,FPD,PWB,MEMSのためのフォトマスク

田邉功／著 -- 工業調査会 -- 2006.12 -- 　　　　
- 中央
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14
[ 和図書 ] レジスト材料（高分子先端材料One Point 10 ）

伊藤洋／著 -- 共立出版 -- 2005.2 -- 　　　　
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15
[ 和図書 ] はじめての半導体リソグラフィ技術（ビギナーズブックス 29 ）

岡崎信次／著 -- 工業調査会 -- 2003.6 -- 　　　　
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16
[ 和図書 ] フォトマスク技術のはなし超LSI、液晶、プリント板を支える

田辺功／[ほか]共著 -- 工業調査会 -- 1996.8 -- 　　　　
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17
[ 和図書 ] 高速3次元成型の基礎生産システムを変えるラピッド・プロトタイピング

ポールF.ジェイコブス／編・著 -- 日経BP出版センター -- 1993.12 -- 　　　　
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