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日本表面真空学会/編集 -- 朝倉書店 -- 2021.6 --
西 敏夫/監修 -- エヌ・ティー・エス -- 2016.4 --
小間 篤/編 -- 丸善 -- 2007.1 -- 第2版
水町 浩/監修 -- エヌ・ティー・エス -- 2000.1 --
表面技術協会/編 -- 日刊工業新聞社 -- 1998.2 --
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