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精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会／編 -- オーム社 -- 2008.10 --
西久保 靖彦／著 -- CQ出版 -- 2000.5 --
電子デバイス活用辞典編集委員会／編 -- 工業調査会 -- 1994.8 --
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