大杉栄/著 -- 長崎出版 -- 1979.7 --

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 R/5490/200A/91 1124667791 Digital BookShelf
1991/09/30 不可 利用可   0

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ISBN 4-526-02987-4
タイトル 半導体製造装置用語辞典
タイトルカナ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
著者名 日本半導体製造装置協会 /編
著者名典拠番号

210000038870000

版表示 第2版
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版者カナ ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版年 1991.9
ページ数 419p
大きさ 22cm
価格 ¥4175
内容紹介 1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語
一般件名 半導体-辞典
一般件名カナ ハンドウタイ-ジテン
一般件名典拠番号

511311810030000

分類:都立NDC10版 549.8
書評掲載紙 毎日新聞  2017/12/10   
資料情報1 『自叙伝』 大杉栄/著  長崎出版 1979.7(所蔵館:多摩  請求記号:/2891/オ27/5  資料コード:1122419032)
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1101822066