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[ 和図書 ] SOI構造形成技術 ( 集積回路プロセス技術シリーズ )

古川静二郎／編著 -- 産業図書 -- 1987.10 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /5491/233/87 1120555750 Digital BookShelf
1987/11/25 可能（館内閲覧） 利用可   0

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ISBN 4-7828-5625-3
タイトル SOI構造形成技術
タイトルカナ SOI コウゾウ ケイセイ ギジュツ
著者名 古川静二郎 ／編著
出版地 東京
出版者 産業図書
出版者カナ サンギョウトショ
出版年 1987.10
ページ数 281p
大きさ 22cm
シリーズ名 集積回路プロセス技術シリーズ
シリーズ名のルビ等 シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ
書誌・年譜・年表 各章末:文献
分類：都立NDC10版 549.3
資料情報1 『SOI構造形成技術』（集積回路プロセス技術シリーズ）　古川静二郎／編著 　産業図書　1987.10（所蔵館：中央　 請求記号：/5491/233/87　 資料コード：1120555750）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1100526197

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