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[ 和図書 ] 超微細加工の基礎 半導体製造技術

麻蒔 立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 1993.3 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /5490/3124/93 1125715294 Digital BookShelf
1993/04/16 可能（館内閲覧） 利用可   0
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ISBN 4-526-03284-0
タイトル 超微細加工の基礎
タイトルカナ チョウビサイ カコウ ノ キソ
タイトル関連情報 半導体製造技術
タイトル関連情報読み ハンドウタイ セイゾウ ギジュツ
著者名 麻蒔 立男 ／著
著者名典拠番号

110000023190000

出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版者カナ ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版年 1993.3
ページ数 261, 4p
大きさ 21cm
価格 ¥3398
内容紹介 超微細加工技術は、非常に多くの技術が集成されて成り立っている。本書は、これらの技術の基礎を平易に解説した入門書である。
一般件名 半導体
一般件名カナ ハンドウタイ
一般件名典拠番号

511311800000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『超微細加工の基礎 半導体製造技術』　麻蒔 立男／著 　日刊工業新聞社　1993.3（所蔵館：中央　 請求記号：/5490/3124/93　 資料コード：1125715294）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1101956461

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