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[ 和図書 ] シリコン 結晶成長とウェーハ加工 ( アドバンストエレクトロニクスシリーズ 1-5 )

阿部 孝夫／著 -- 培風館 -- 1994.5 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /5490/3158/94 1127462054 Digital BookShelf
1994/06/13 可能 利用可   0
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ISBN 4-563-03605-6
タイトル シリコン
タイトルカナ シリコン
タイトル関連情報 結晶成長とウェーハ加工
タイトル関連情報読み ケッショウ セイチョウ ト ウェーハ カコウ
著者名 阿部 孝夫 ／著
著者名典拠番号

110000031590000

出版地 東京
出版者 培風館
出版者カナ バイフウカン
出版年 1994.5
ページ数 361p
大きさ 22cm
シリーズ名 アドバンストエレクトロニクスシリーズ
シリーズ名のルビ等 アドバンスト エレクトロニクス シリーズ
シリーズ番号 1-5
シリーズ番号読み 1-5
価格 ¥5800
内容紹介 「神の賜物」と呼ばれる、優れた特性を数多く持つシリコンの製作法の歴史を振り返り、現在の技術的問題について検証し、さらに今後予想されるギガビット級D-RAMなどのデバイスに要求されるウェーハ開発のための技術に至るまで詳述した解説書。
一般件名 シリコン(半導体)
一般件名カナ シリコン(ハンドウタイ)
一般件名典拠番号

510167300000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『シリコン 結晶成長とウェーハ加工』（アドバンストエレクトロニクスシリーズ 1-5）　阿部 孝夫／著 　培風館　1994.5（所蔵館：中央　 請求記号：/5490/3158/94　 資料コード：1127462054）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1102071483

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