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[ 和図書 ] 半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 1994.11 -- 第3版

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 R/5490/200B/94 1127587961 Digital BookShelf
1994/12/22 不可 利用可   0

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ISBN 4-526-03613-7
タイトル 半導体製造装置用語辞典
タイトルカナ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
著者名 日本半導体製造装置協会 ／編
著者名典拠番号

210000038870000

版表示 第3版
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版者カナ ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版年 1994.11
ページ数 486p
大きさ 22cm
価格 ¥4563
内容紹介 1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語<ソフトカバー>
一般件名 半導体-辞典
一般件名カナ ハンドウタイ-ジテン
一般件名典拠番号

511311810030000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『半導体製造装置用語辞典』第3版　日本半導体製造装置協会／編 　日刊工業新聞社　1994.11（所蔵館：中央　 請求記号：R/5490/200B/94　 資料コード：1127587961）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1102122953

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