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[ 和図書 ] ULSIデバイス・プロセス技術

伊藤 隆司／編著 -- 電子情報通信学会 -- 1995.2 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /5491/3158/95 1127630632 Digital BookShelf
1995/02/23 可能 利用可   0
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ISBN 4-88552-126-2
タイトル ULSIデバイス・プロセス技術
タイトルカナ ユーエルエスアイ デバイス プロセス ギジュツ
著者名 伊藤 隆司 ／編著, 電子情報通信学会 ／編
著者名典拠番号

110000100450000 , 210000117170000

出版地 東京
出版者 電子情報通信学会
出版者カナ デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ
出版年 1995.2
ページ数 322p
大きさ 22cm
累積注記 監修:菅野卓雄
著者等に関する注記 監修:菅野卓雄
価格 ¥5320
内容紹介 ULSIデバイスの基本であるMOSとバイポーラトランジスタの基礎から、ULSIデバイス構造およびプロセス要素技術を経て製造過程が一望できるよう構成。普遍的事項を重視しつつ、今後進むべき方向についても言及する。
一般件名 集積回路
一般件名カナ シュウセキ カイロ
一般件名典拠番号

510919900000000

分類：都立NDC10版 549.7
資料情報1 『ULSIデバイス・プロセス技術』　伊藤 隆司／編著, 電子情報通信学会／編 　電子情報通信学会　1995.2（所蔵館：中央　 請求記号：/5491/3158/95　 資料コード：1127630632）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1102147716

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