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[ 和図書 ] 超LSIプロセス制御工学

津屋 英樹／著 -- 丸善 -- 1995.3 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /5491/3163/95 1127652193 Digital BookShelf
1995/04/14 可能 利用可   0

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ISBN 4-621-04047-2
タイトル 超LSIプロセス制御工学
タイトルカナ チョウエルエスアイ プロセス セイギョ コウガク
著者名 津屋 英樹 ／著
著者名典拠番号

110002352950000

出版地 東京
出版者 丸善
出版者カナ マルゼン
出版年 1995.3
ページ数 313p
大きさ 22cm
価格 ¥6200
内容紹介 材料・プロセス技術を欠陥制御という観点から述べる。欠陥の本質をおさえた上で、基本的にどんな問題が潜んでいるのか、これまでどう克服されてきたのかを多くの実例を通して解説。材料・プロセス・デバイスの各分野・量産技術に携わる技術者や研究者必携。
一般件名 集積回路
一般件名カナ シュウセキ カイロ
一般件名典拠番号

510919900000000

分類：都立NDC10版 549.7
資料情報1 『超LSIプロセス制御工学』　津屋 英樹／著 　丸善　1995.3（所蔵館：中央　 請求記号：/5491/3163/95　 資料コード：1127652193）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1102158545

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