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[ 和図書 ] 超微細加工技術 ( 応用物理学シリーズ )

徳山 巍／編著 -- オーム社 -- 1997.2 --

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中央 書庫 一般図書 /5491/3182/97 1128211916 Digital BookShelf
1997/03/13 可能 利用可   0
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ISBN 4-274-02332-X
タイトル 超微細加工技術
タイトルカナ チョウビサイ カコウ ギジュツ
著者名 徳山 巍 ／編著
著者名典拠番号

110000679970000

出版地 東京
出版者 オーム社
出版者カナ オームシャ
出版年 1997.2
ページ数 309p
大きさ 22cm
シリーズ名 応用物理学シリーズ
シリーズ名のルビ等 オウヨウ ブツリガク シリーズ
シリーズ名２ 専門コース
シリーズ名読み２ センモン コース
価格 ¥6500
内容紹介 1.序論 2.光リソグラフィ技術 3.電子線リソグラフィ技術 4.イオンビームリソグラフィ技術 5.X線リソグラフィ技術 6.レジスト材料 7.エッチング技術 8.形状シミュレーション技術 ほか1章
一般件名 半導体
一般件名カナ ハンドウタイ
一般件名典拠番号

511311800000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『超微細加工技術』（応用物理学シリーズ）　徳山 巍／編著 　オーム社　1997.2（所蔵館：中央　 請求記号：/5491/3182/97　 資料コード：1128211916）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1102377690

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