徳山 巍/編著 -- オーム社 -- 1997.2 --

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閲/貸/協 返却予定日 配架日 所蔵状態 利用状況 予約数 付録注記 備考
中央 閉架 / 5491/ 3182/ 97 1128211916 和図参調
可否可   1997/03/13 0

資料詳細

ISBN 4-274-02332-X
タイトル 超微細加工技術
タイトルカナ チョウビサイ カコウ ギジュツ
著者名 徳山 巍 /編著
著者名典拠番号

110000679970000

出版地 東京
出版者 オーム社
出版者カナ オームシャ
出版年 1997.2
ページ数 309p
大きさ 22cm
シリーズ名 応用物理学シリーズ
シリーズ名のルビ等 オウヨウ ブツリガク シリーズ
シリーズ名2 専門コース
シリーズ名読み2 センモン コース
価格 ¥6500
内容紹介 1.序論 2.光リソグラフィ技術 3.電子線リソグラフィ技術 4.イオンビームリソグラフィ技術 5.X線リソグラフィ技術 6.レジスト材料 7.エッチング技術 8.形状シミュレーション技術 ほか1章
一般件名 半導体
一般件名カナ ハンドウタイ
一般件名典拠番号

511311800000000

分類:NDC8版 549.8
分類:NDC6A版 549.1
分類:NDC9版 549.8