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[ 和図書 ] 薄膜技術の新潮流 多彩な新規応用をカバー ( ケイブックス 128 )

平尾 孝／[ほか]共著 -- 工業調査会 -- 1997.7 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
多摩 書庫 一般図書 /5498/3095/97 1115506290 Digital BookShelf
1997/08/08 可能 利用可   0 (6)-0197
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ISBN 4-7693-1157-5
タイトル 薄膜技術の新潮流
タイトルカナ ハクマク ギジュツ ノ シンチョウリュウ
タイトル関連情報 多彩な新規応用をカバー
タイトル関連情報読み タサイ ナ シンキ オウヨウ オ カバー
著者名 平尾 孝 ／[ほか]共著
著者名典拠番号

110001540080000

出版地 東京
出版者 工業調査会
出版者カナ コウギョウ チョウサカイ
出版年 1997.7
ページ数 258p
大きさ 19cm
シリーズ名 ケイブックス
シリーズ名のルビ等 ケイ ブックス
シリーズ番号 128
シリーズ番号読み 128
価格 ¥2100
内容紹介 半導体、ディスプレイ、記録などのキーデバイスにおける、薄膜形成や微細加工技術の進展と技術レベルが、コストや性能を決定する。薄膜、加工技術の基礎から応用まで、最新情報を踏まえて解説する。
一般件名 薄膜
一般件名カナ ハクマク
一般件名典拠番号

511306800000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『薄膜技術の新潮流 多彩な新規応用をカバー』（ケイブックス 128）　平尾 孝／[ほか]共著 　工業調査会　1997.7（所蔵館：多摩　 請求記号：/5498/3095/97　 資料コード：1115506290）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1102429923

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