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[ 和図書 ] 半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 1997.11 -- 第4版

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中央 書庫 一般図書 R/5490/200C/97 1128439382 Digital BookShelf
1997/12/24 不可 利用可   0
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ISBN 4-526-04090-8
タイトル 半導体製造装置用語辞典
タイトルカナ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
著者名 日本半導体製造装置協会 ／編
著者名典拠番号

210000038870000

版表示 第4版
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版者カナ ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版年 1997.11
ページ数 547p
大きさ 22cm
価格 ¥4600
内容紹介 最近のLSI・超LSI製造技術、デバイス開発の目ざましい進歩や環境保護への取り組みの強化など、時代の要請を反映し、新用語の追加、内容の洗練を図った最新知識充実の辞典。
一般件名 半導体-辞典
一般件名カナ ハンドウタイ-ジテン
一般件名典拠番号

511311810030000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『半導体製造装置用語辞典』第4版　日本半導体製造装置協会／編 　日刊工業新聞社　1997.11（所蔵館：中央　 請求記号：R/5490/200C/97　 資料コード：1128439382）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1102472847

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