資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

[ 和図書 ] はじめての半導体製造装置 ( ビギナーズブックス 3 )

前田 和夫／著 -- 工業調査会 -- 1999.3 --

所蔵

所蔵は 1 件です。

所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
多摩 書庫 一般図書 /5498/3104/99 1115784485 Digital BookShelf
1999/03/26 可能 利用可   0
Eメールによる郵送複写申込みは、「東京都在住」の登録利用者の方が対象です。

ページの先頭へ

資料詳細 閉じる

ISBN 4-7693-1169-9
タイトル はじめての半導体製造装置
タイトルカナ ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
著者名 前田 和夫 ／著
著者名典拠番号

110000895900000

出版地 東京
出版者 工業調査会
出版者カナ コウギョウ チョウサカイ
出版年 1999.3
ページ数 254p
大きさ 21cm
シリーズ名 ビギナーズブックス
シリーズ名のルビ等 ビギナーズ ブックス
シリーズ番号 3
シリーズ番号読み 3
価格 ¥2000
内容紹介 すべての産業の中で最も先端的ともいえる半導体製造。その進歩の歴史、基本技術や実際の製造工程を解説。半導体市場や技術との関係から半導体製造技術をより広い視野でとらえる。
一般件名 半導体
一般件名カナ ハンドウタイ
一般件名典拠番号

511311800000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『はじめての半導体製造装置』（ビギナーズブックス 3）　前田 和夫／著 　工業調査会　1999.3（所蔵館：多摩　 請求記号：/5498/3104/99　 資料コード：1115784485）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1102636150

ページの先頭へ