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[ 和図書 ] はじめての半導体洗浄技術 ( ビギナーズブックス 23 )

小川 洋輝／著 -- 工業調査会 -- 2002.3 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.8/5029/2002 5004325030 Digital BookShelf
2002/04/12 可能 利用可   0

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ISBN 4-7693-1212-1
タイトル はじめての半導体洗浄技術
タイトルカナ ハジメテ ノ ハンドウタイ センジョウ ギジュツ
著者名 小川 洋輝 ／著, 堀池 靖浩 ／著
著者名典拠番号

110003733160000 , 110003733170000

出版地 東京
出版者 工業調査会
出版者カナ コウギョウ チョウサカイ
出版年 2002.3
ページ数 276p
大きさ 21cm
シリーズ名 ビギナーズブックス
シリーズ名のルビ等 ビギナーズ ブックス
シリーズ番号 23
シリーズ番号読み 23
価格 ¥2300
内容紹介 超LSIはクリーンネスとの闘いである。半導体洗浄技術の全貌について、技術の位置づけ、歴史、基礎的事項、具体的手法、評価法、今後の展望までを詳細に解説する。
一般件名 半導体,洗浄剤
一般件名カナ ハンドウタイ,センジョウザイ
一般件名 半導体 , 洗浄法
一般件名カナ ハンドウタイ,センジョウホウ
一般件名典拠番号

511311800000000 , 511094100000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『はじめての半導体洗浄技術』（ビギナーズブックス 23）　小川 洋輝／著, 堀池 靖浩／著 　工業調査会　2002.3（所蔵館：中央　 請求記号：/549.8/5029/2002　 資料コード：5004325030）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1105557058

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