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[ 和図書 ] VLSIプロセス技術 高歩留りのための問題点とその解決

小林 稔／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2002.3 -- 第2版

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.7/5025/2002 5006170965 Digital BookShelf
2003/03/25 可能 利用可   0

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ISBN 4-526-04905-0
タイトル VLSIプロセス技術
タイトルカナ ヴイエルエスアイ プロセス ギジュツ
タイトル関連情報 高歩留りのための問題点とその解決
タイトル関連情報読み コウブドマリ ノ タメ ノ モンダイテン ト ソノ カイケツ
著者名 小林 稔 ／著, 中島 蕃 ／著, 垂井 康夫 ／監修
著者名典拠番号

110001945720000 , 110001945730000 , 110000640000000

版表示 第2版
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版者カナ ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版年 2002.3
ページ数 169p
大きさ 22cm
価格 ¥2900
内容紹介 LSI製造プロセス開発で発生するプロセストラブルを主体に具体的事例を系統的に示すとともに、LSIの故障解析技術について現状も含めて解説。製造プロセス技術の評価と検討、後工程についても追加した、93年刊の第2版。
一般件名 集積回路
一般件名カナ シュウセキカイロ
一般件名 集積回路
一般件名カナ シュウセキ カイロ
一般件名典拠番号

510919900000000

分類：都立NDC10版 549.7
資料情報1 『VLSIプロセス技術 高歩留りのための問題点とその解決』第2版　小林 稔／著, 中島 蕃／著 , 垂井 康夫／監修　日刊工業新聞社　2002.3（所蔵館：中央　 請求記号：/549.7/5025/2002　 資料コード：5006170965）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1105564412

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