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[ 和図書 ] はじめての半導体製造材料 ( ビギナーズブックス 24 )

遠藤 伸裕／著 -- 工業調査会 -- 2002.4 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.8/5030/2002 5004436791 Digital BookShelf
2002/05/26 可能 利用可   0

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ISBN 4-7693-1210-5
タイトル はじめての半導体製造材料
タイトルカナ ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ザイリョウ
著者名 遠藤 伸裕 ／著, 小林 伸好 ／著, 若宮 亙 ／著
著者名典拠番号

110003759160000 , 110003759170000 , 110003759180000

出版地 東京
出版者 工業調査会
出版者カナ コウギョウ チョウサカイ
出版年 2002.4
ページ数 190p
大きさ 21cm
シリーズ名 ビギナーズブックス
シリーズ名のルビ等 ビギナーズ ブックス
シリーズ番号 24
シリーズ番号読み 24
価格 ¥2000
内容紹介 現在のシリコン半導体製造プロセスでは、実に様々な材料が使用されている。これら半導体製造材料を構造とプロセスにそって解説。材料名の羅列を避け、初心者向けに、半導体材料の物理的イメージに主眼をおいてまとめる。
一般件名 半導体
一般件名カナ ハンドウタイ
一般件名 半導体
一般件名カナ ハンドウタイ
一般件名典拠番号

511311800000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『はじめての半導体製造材料』（ビギナーズブックス 24）　遠藤 伸裕／著, 小林 伸好／著 , 若宮 亙／著　工業調査会　2002.4（所蔵館：中央　 請求記号：/549.8/5030/2002　 資料コード：5004436791）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1105576908

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