和佐 清孝/著 -- 共立出版 -- 2002.6 -- 第3版

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中央 書庫 一般図書 /549.8/5036/2002 5004898357 Digital BookShelf
2002/10/23 可能 利用可   0
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ISBN 4-320-08613-9
タイトル 薄膜化技術
タイトルカナ ハクマクカ ギジュツ
著者名 和佐 清孝 /著, 早川 茂 /著
著者名典拠番号

110001095010000 , 110000801470000

版表示 第3版
出版地 東京
出版者 共立出版
出版者カナ キョウリツ シュッパン
出版年 2002.6
ページ数 316p
大きさ 22cm
価格 ¥5000
内容紹介 原子スケールでの材料技術を特徴としている薄膜は、ナノスケール素材・デバイス形成の要素技術であり、エレクトロニクスや環境技術分野で重要である。基礎科学的視点を追加し、最新のデータを増補した、92年刊に次ぐ第3版。
一般件名 薄膜
一般件名カナ ハクマク
一般件名 薄膜
一般件名カナ ハクマク
一般件名典拠番号

511306800000000

分類:都立NDC10版 549.8
資料情報1 『薄膜化技術』第3版 和佐 清孝/著, 早川 茂/著  共立出版 2002.6(所蔵館:中央  請求記号:/549.8/5036/2002  資料コード:5004898357)
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1105617294