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[ 和図書 ] 真空ハンドブック

アルバック／編 -- オーム社 -- 2002.7 -- 新版

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /534.9/5007/2002 5004696941 Digital BookShelf
2002/08/13 可能 利用可   0

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ISBN 4-274-08727-1
タイトル 真空ハンドブック
タイトルカナ シンクウ ハンドブック
著者名 アルバック ／編
著者名典拠番号

210000934030000

版表示 新版
出版地 東京
出版者 オーム社
出版者カナ オームシャ
出版年 2002.7
ページ数 331p
大きさ 27cm
累積注記 付:表(4枚)
一般注記 付:表(4枚)
価格 ¥9500
内容紹介 半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。
一般件名 真空,真空工学
一般件名カナ シンクウ,シンクウコウガク
一般件名 真空技術-便覧
一般件名カナ シンクウ ギジュツ-ベンラン
一般件名典拠番号

511006910020000

分類：都立NDC10版 534.93
資料情報1 『真空ハンドブック』新版　アルバック／編 　オーム社　2002.7（所蔵館：中央　 請求記号：/534.9/5007/2002　 資料コード：5004696941）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1105629294

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