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[ 和図書 ] はじめての半導体リソグラフィ技術 ( ビギナーズブックス 29 )

岡崎 信次／著 -- 工業調査会 -- 2003.6 --

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中央 書庫 一般図書 /549.7/5029/2003 5006825636 Digital BookShelf
2003/07/29 可能 利用可   0
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ISBN 4-7693-1224-5
タイトル はじめての半導体リソグラフィ技術
タイトルカナ ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
著者名 岡崎 信次 ／著, 鈴木 章義 ／著, 上野 巧 ／著
著者名典拠番号

110004012790000 , 110004012800000 , 110004012810000

出版地 東京
出版者 工業調査会
出版者カナ コウギョウ チョウサカイ
出版年 2003.6
ページ数 305p
大きさ 21cm
シリーズ名 ビギナーズブックス
シリーズ名のルビ等 ビギナーズ ブックス
シリーズ番号 29
シリーズ番号読み 29
価格 ¥2400
内容紹介 光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べるとともに、パターン形成に重要なマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる。変遷の激しいリソグラフィ技術の全貌を解説した入門書。
一般件名 リソグラフィー
一般件名カナ リソグラフィー
一般件名 リソグラフィー , 半導体
一般件名カナ リソグラフィー,ハンドウタイ
一般件名典拠番号

510268700000000 , 511311800000000

分類：都立NDC10版 549.7
資料情報1 『はじめての半導体リソグラフィ技術』（ビギナーズブックス 29）　岡崎 信次／著, 鈴木 章義／著 , 上野 巧／著　工業調査会　2003.6（所蔵館：中央　 請求記号：/549.7/5029/2003　 資料コード：5006825636）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1105900294

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