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[ 和図書 ] プラズマ/プロセスの原理

Michael A.Lieberman／著 -- EDリサーチ社 -- 2001.11 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /427.6/5006/2001 5007577120 Digital BookShelf
2003/10/28 可能 利用可   0

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タイトル プラズマ/プロセスの原理
タイトルカナ プラズマ プロセス ノ ゲンリ
著者名 Michael A.Lieberman ／著, Allan J.Lichtenberg ／著, 堀勝 ／監修, 佐藤久明 ／訳
著者名典拠番号

120002542830000 , 120002542840000 , 110005677860000 , 110005282560000

出版地 東京
出版者 EDリサーチ社
出版者カナ EDリサーチシャ
出版年 2001.11
ページ数 21, 430p
大きさ 26cm
都立翻訳原書名注記 Principles of plasma discharges and materials processing.
価格 9500
書誌・年譜・年表 文献あり
一般件名 プラズマ,薄膜
一般件名カナ プラズマ,ハクマク
分類：都立NDC10版 427.6
資料情報1 『プラズマ/プロセスの原理』　Michael A.Lieberman／著, Allan J.Lichtenberg／著 , 堀勝／監修　EDリサーチ社　2001.11（所蔵館：中央　 請求記号：/427.6/5006/2001　 資料コード：5007577120）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1105902256

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