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[ 和図書 ] はじめての半導体ナノプロセス ( ビギナーズブックス 32 )

前田 和夫／著 -- 工業調査会 -- 2004.2 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.8/5056/2004 5008503103 Digital BookShelf
2004/03/16 可能 利用可   0

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ISBN 4-7693-1225-3
タイトル はじめての半導体ナノプロセス
タイトルカナ ハジメテ ノ ハンドウタイ ナノプロセス
著者名 前田 和夫 ／著
著者名典拠番号

110000895900000

出版地 東京
出版者 工業調査会
出版者カナ コウギョウ チョウサカイ
出版年 2004.2
ページ数 239p
大きさ 21cm
シリーズ名 ビギナーズブックス
シリーズ名のルビ等 ビギナーズ ブックス
シリーズ番号 32
シリーズ番号読み 32
価格 ¥2200
内容紹介 ナノテクノロジー時代の半導体プロセス技術について、これまでの技術の流れからどのような変革が行われようとしているかを具体的に解説。半導体デバイス、実装技術、測定・評価技術などの重要テーマの動向についてもふれる。
一般件名 半導体,ナノテクノロジー
一般件名カナ ハンドウタイ,ナノテクノロジー
一般件名 半導体 , ナノテクノロジー
一般件名カナ ハンドウタイ,ナノテクノロジー
一般件名典拠番号

511311800000000 , 510207500000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『はじめての半導体ナノプロセス』（ビギナーズブックス 32）　前田 和夫／著 　工業調査会　2004.2（所蔵館：中央　 請求記号：/549.8/5056/2004　 資料コード：5008503103）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1106131381

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