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[ 和図書 ] レジスト材料 ( 高分子先端材料One Point 10 )

伊藤 洋／著 -- 共立出版 -- 2005.2 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.7/5036/2005 5010646838 Digital BookShelf
2005/03/22 可能 利用可   0

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ISBN 4-320-04372-3
タイトル レジスト材料
タイトルカナ レジスト ザイリョウ
著者名 伊藤 洋 ／著
著者名典拠番号

110004310690000

出版地 東京
出版者 共立出版
出版者カナ キョウリツ シュッパン
出版年 2005.2
ページ数 4, 104p
大きさ 19cm
シリーズ名 高分子先端材料One Point
シリーズ名のルビ等 コウブンシ センタン ザイリョウ ワン ポイント
シリーズ番号 10
シリーズ番号読み 10
シリーズの編者等 高分子学会／編集
シリーズの編者等の典拠番号

210000081600000

価格 ¥1400
内容紹介 高分子材料「レジスト」は、電子機器の高性能化、低価格化に革命をひき起こしている。半導体デバイス製作に使われるレジスト材料の歴史的発展、その化学とプロセスについて概観する。
一般件名 リソグラフィー,感光性樹脂
一般件名カナ リソグラフィー,カンコウセイジュシ
一般件名 リソグラフィー , 感光性樹脂
一般件名カナ リソグラフィー,カンコウセイ ジュシ
一般件名典拠番号

510268700000000 , 510599600000000

分類：都立NDC10版 549.7
資料情報1 『レジスト材料』（高分子先端材料One Point 10）　伊藤 洋／著 　共立出版　2005.2（所蔵館：中央　 請求記号：/549.7/5036/2005　 資料コード：5010646838）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1106445955

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