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[ 和図書 ] プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用

市村 博司／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2005.2 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.8/5064/2005 5010872991 Digital BookShelf
2005/03/31 可能 利用可   0

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ISBN 4-526-05420-8
タイトル プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用
タイトルカナ プラズマ プロセス ニ ヨル ハクマク ノ キソ ト オウヨウ
著者名 市村 博司 ／著, 池永 勝 ／著
著者名典拠番号

110004323580000 , 110003451720000

出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版者カナ ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版年 2005.2
ページ数 9, 276p
大きさ 21cm
価格 ¥3200
内容紹介 材料表面の機能を高めるための薄膜技術は、近年、機械部品、電子部品、光学部品などに応用され、急速に発展している。プラズマプロセスによる薄膜技術の全体像を解説する。
書誌・年譜・年表 文献:章末
一般件名 薄膜,プラズマ
一般件名カナ ハクマク,プラズマ
一般件名 薄膜
一般件名カナ ハクマク
一般件名典拠番号

511306800000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用』　市村 博司／著, 池永 勝／著 　日刊工業新聞社　2005.2（所蔵館：中央　 請求記号：/549.8/5064/2005　 資料コード：5010872991）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1106461883

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