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[ 和図書 ] 薄膜作成の基礎

麻蒔 立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2005.7 -- 第4版

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.8/5072/2005 5011812361 Digital BookShelf
2005/12/08 可能 利用可   0

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ISBN 4-526-05503-4
タイトル 薄膜作成の基礎
タイトルカナ ハクマク サクセイ ノ キソ
著者名 麻蒔 立男 ／著
著者名典拠番号

110000023190000

版表示 第4版
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版者カナ ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版年 2005.7
ページ数 13, 352p
大きさ 21cm
価格 ¥3800
内容紹介 前半では薄膜を作るために必要な真空技術を理解し、後半で薄膜を作るための技術を多数紹介する。96年刊に次ぐ第4版。
一般件名 薄膜
一般件名カナ ハクマク
一般件名 薄膜 , 真空技術
一般件名カナ ハクマク,シンクウ ギジュツ
一般件名典拠番号

511306800000000 , 511006900000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『薄膜作成の基礎』第4版　麻蒔 立男／著 　日刊工業新聞社　2005.7（所蔵館：中央　 請求記号：/549.8/5072/2005　 資料コード：5011812361）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1106577846

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