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[ 和図書 ] 半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 2006.9 -- 第6版

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 R/549.8/5015/2006 5012913565 Digital BookShelf
2006/11/01 不可 利用可   0

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ISBN 4-526-05740-1
タイトル 半導体製造装置用語辞典
タイトルカナ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
著者名 日本半導体製造装置協会 ／編
著者名典拠番号

210000038870000

版表示 第6版
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版者カナ ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版年 2006.9
ページ数 10, 564p
大きさ 21cm
価格 ¥4700
内容紹介 設計、マスク製作、ウェーハ製造、検査、設備・環境工程など、半導体デバイスを製造する7つの工程順に用語を分類・配列。製造フローチャートと各工程毎の用語の構成表も掲載。新しい技術用語を215語追加した第6版。
一般件名 半導体∥辞書
一般件名カナ ハンドウタイ∥ジショ
一般件名 半導体-辞典
一般件名カナ ハンドウタイ-ジテン
一般件名典拠番号

511311810030000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『半導体製造装置用語辞典』第6版　日本半導体製造装置協会／編 　日刊工業新聞社　2006.9（所蔵館：中央　 請求記号：R/549.8/5015/2006　 資料コード：5012913565）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1107006617

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