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[ 和図書 ] 電子線リソグラフィ教本

横山 浩／監修 -- オーム社 -- 2007.6 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.7/5056/2007 5013769555 Digital BookShelf
2007/07/26 可能 利用可   0
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ISBN 4-274-20415-9
ISBN13桁 978-4-274-20415-9
タイトル 電子線リソグラフィ教本
タイトルカナ デンシセン リソグラフィ キョウホン
著者名 横山 浩 ／監修, 秋永 広幸 ／編
著者名典拠番号

110001066090000 , 110004653550000

出版地 東京
出版者 オーム社
出版者カナ オームシャ
出版年 2007.6
ページ数 13, 210p
大きさ 21cm
価格 ¥3000
内容紹介 「産学連携製造中核人材育成事業」の育成プログラム「電子線リソグラフィ」カリキュラムをもとに構築した実践的なテキスト。電子線リソグラフィの概要、電子線の制御方法や描画技術、レジストなどについて解説。
書誌・年譜・年表 文献:p201〜203
一般件名 リソグラフィー
一般件名カナ リソグラフィー
一般件名 リソグラフィー , 電子線
一般件名カナ リソグラフィー,デンシセン
一般件名典拠番号

510268700000000 , 511216500000000

分類：都立NDC10版 549.7
資料情報1 『電子線リソグラフィ教本』　横山 浩／監修, 秋永 広幸／編 　オーム社　2007.6（所蔵館：中央　 請求記号：/549.7/5056/2007　 資料コード：5013769555）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1107226875

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