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[ 和図書 ] 半導体技術の進化 イノベーションから実用化まで

戸所 義博／編著 -- 日本半導体製造装置協会 -- 2008.6 --

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.8/5151/2008 5017078456 Digital BookShelf
2009/10/13 可能 利用可   0 別組付録有
中央 書庫 一般図書 /549.8/5151/2008-2 5017079195 Digital BookShelf
2009/10/13 可能 利用可   0 別組付録

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タイトル 半導体技術の進化
タイトルカナ ハンドウタイ ギジュツ ノ シンカ
タイトル関連情報 イノベーションから実用化まで
タイトル関連情報読み イノベーション カラ ジツヨウカ マデ
著者名 戸所 義博 ／編著
著者名典拠番号

110004340360000

資料種別 複合媒体資料
都立資料種別 複合媒体資料
出版地 東京,東京
出版者 日本半導体製造装置協会,SEMIジャパン
出版者カナ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版年 2008.6
ページ数 275p
大きさ 21cm
付属資料 CD-ROM(1枚 12cm)
付属資料 CD-ROM(1枚 12cm)
価格 ¥2857
一般件名 半導体
一般件名カナ ハンドウタイ
一般件名典拠番号

511311800000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『半導体技術の進化 イノベーションから実用化まで』　戸所 義博／編著 　日本半導体製造装置協会　2008.6（所蔵館：中央　 請求記号：/549.8/5151/2008　 資料コード：5017078456）
資料情報2 『半導体技術の進化 イノベーションから実用化まで』　戸所 義博／編著 　日本半導体製造装置協会　2008.6（所蔵館：中央　 請求記号：/549.8/5151/2008-2　 資料コード：5017079195）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1107735785

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