植田敏嗣/監修 -- サイエンス&テクノロジー -- 2009.4 --

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中央 書庫 一般図書 /530.0/5028/2009 5017704755 Digital BookShelf
2010/02/16 可能 利用可   0
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ISBN 4-903413-65-5
ISBN13桁 978-4-903413-65-5
タイトル MEMSデバイス総論
タイトルカナ MEMS デバイス ソウロン
著者名 植田敏嗣 /監修
著者名典拠番号

011023614410000

出版地 東京
出版者 サイエンス&テクノロジー
出版者カナ サイエンス アンド テクノロジー
出版年 2009.4
ページ数 301p
大きさ 27cm
価格 60000
内容注記 内容:MEMSデザイン:MEMSシミュレーションの現状/浅海和雄∥著 岩崎拓也∥著. MEMS用設計・解析支援システムの構成と応用/浅海和雄∥著 岩崎拓也∥著.圧力センサ:プロセス用圧力センサ/渡辺哲也∥著. 自動車用圧力センサ/磯部良彦∥著. ジャイロ/菊池尊行∥著.バイオ,医療デバイス:マイクロ流体とその応用/安田隆∥著. バイオセンサ/李丞祐∥著.携帯電話・通信:水晶振動子・発振器とMEMS技術/田中雅子∥著. Si MEMS発振器/櫻井俊二∥著. 高周波メカニカルフィルタ/橋本研也∥著 田中秀治∥著. RF MEMSデバイス/桑原啓∥著. MEMSマイクロフォン/添田富男∥著.光学機器:光MEMS/澤田廉士∥著. 光分析/杉山直∥著. マイクロチップレーザー/平等拓範∥著.コンシューマ応用デバイス:家電へのMEMSデバイスの応用/板谷和彦∥著. 医療機器へのMEMSデバイスの応用/佐々木昌∥著
書誌・年譜・年表 文献あり
一般件名 マイクロマシン
一般件名カナ マイクロマシン
分類:都立NDC10版 530
資料情報1 『MEMSデバイス総論』 植田敏嗣/監修  サイエンス&テクノロジー 2009.4(所蔵館:中央  請求記号:/530.0/5028/2009  資料コード:5017704755)
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1107822879