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[ 和図書 ] 実用薄膜プロセス 機能創製・応用展開

齋藤文良／編集 -- 技術教育出版 -- 2009.8 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.8/5159/2009 5017229668 Digital BookShelf
2009/11/24 可能 利用可   0
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ISBN 4-907837-18-1
ISBN13桁 978-4-907837-18-1
タイトル 実用薄膜プロセス
タイトルカナ ジツヨウ ハクマク プロセス
タイトル関連情報 機能創製・応用展開
タイトル関連情報読み キノウ ソウセイ オウヨウ テンカイ
著者名 齋藤文良 ／編集, 多賀康訓 ／編集
著者名典拠番号

110003838990000 , 110002599700000

出版地 東京
出版者 技術教育出版,エヌ・ティー・エス (発売)
出版者カナ ギジュツ キョウイク シュッパン
出版年 2009.8
ページ数 416p
大きさ 27cm
一般件名 薄膜-ndlsh-00562857
一般件名カナ ハクマク-00562857
一般件名 薄膜
一般件名カナ ハクマク
分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『実用薄膜プロセス 機能創製・応用展開』　齋藤文良／編集, 多賀康訓／編集 　技術教育出版　2009.8（所蔵館：中央　 請求記号：/549.8/5159/2009　 資料コード：5017229668）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1107891620

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