資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

[ 和図書 ] マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 ( 新材料・新素材シリーズ )

式田 光宏／監修 -- シーエムシー出版 -- 2009.10 --

所蔵

所蔵は 1 件です。

所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.8/5190/2009 5018545199 Digital BookShelf
2010/08/13 可能 利用可   0

Eメールによる郵送複写申込みは、「東京都在住」の登録利用者の方が対象です。

    • 統合検索
      都内図書館の所蔵を
      横断検索します。       類似資料 AI Shelf
      この資料に類似した資料を
      AIが紹介します。

ページの先頭へ

資料詳細 閉じる

ISBN 4-7813-0167-9
ISBN13桁 978-4-7813-0167-9
タイトル マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
タイトルカナ マイクロ ナノデバイス ノ エッチング ギジュツ
著者名 式田 光宏 ／監修, 佐藤 一雄 ／監修, 田中 浩 ／監修
著者名典拠番号

110005636650000 , 110003682070000 , 110005636670000

並列タイトル Etching for Micro/Nano Fabrication
出版地 東京
出版者 シーエムシー出版
出版者カナ シーエムシー シュッパン
出版年 2009.10
ページ数 9, 301p
大きさ 27cm
シリーズ名 新材料・新素材シリーズ
シリーズ名のルビ等 シンザイリョウ シンソザイ シリーズ
価格 ¥65000
内容紹介 マイクロナノ領域でのモノづくりで、その中心的な役目を担っている「エッチング技術」に焦点を絞り、その基礎から応用までを網羅的に解説。半導体以外の材料や、エッチング技術の高機能化の実例にも触れる。
一般件名 半導体,表面(工学)
一般件名カナ ハンドウタイ,ヒョウメン(コウガク)
一般件名 リソグラフィー
一般件名カナ リソグラフィー
一般件名典拠番号

510268700000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術』（新材料・新素材シリーズ）　式田 光宏／監修, 佐藤 一雄／監修 , 田中 浩／監修　シーエムシー出版　2009.10（所蔵館：中央　 請求記号：/549.8/5190/2009　 資料コード：5018545199）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1107950688

ページの先頭へ