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[ 和図書 ] CMP技術大系

精密工学会「プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会」／編 -- グローバルネット -- 2006.6 --

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中央 書庫 一般図書 /549.7/5073/2006 5018094122 Digital BookShelf
2010/04/09 可能 利用可   0
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ISBN 4-907847-13-0
タイトル CMP技術大系
タイトルカナ CMP ギジュツ タイケイ
著者名 精密工学会「プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会」 ／編, 土肥俊郎 ／監修, 木下正治 ／監修
著者名典拠番号

210000102960000 , 110002610220000 , 110006221560000

並列タイトル A library of CMP planarization technology & application
出版地 東京
出版者 グローバルネット
出版者カナ グローバル ネット
出版年 2006.6
ページ数 788p
大きさ 27cm
税込価格 75600
一般件名 集積回路,研磨法
一般件名カナ シュウセキカイロ,ケンマホウ
一般件名 集積回路
一般件名カナ シュウセキ カイロ
一般件名 集積回路
一般件名カナ シュウセキカイロ
分類：都立NDC10版 549.7
資料情報1 『CMP技術大系』　精密工学会「プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会」／編, 土肥俊郎／監修 , 木下正治／監修　グローバルネット　2006.6（所蔵館：中央　 請求記号：/549.7/5073/2006　 資料コード：5018094122）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1107951851

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