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[ 和図書 ] よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する ( 図解入門 )

佐藤 淳一／著 -- 秀和システム -- 2010.5 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.8/5183/2010 5018445658 Digital BookShelf
2010/06/22 可能 利用可   0

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ISBN 4-7980-2610-7
ISBN13桁 978-4-7980-2610-7
タイトル よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
タイトルカナ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ
タイトル関連情報 製造装置の全体を俯瞰する,技術力の真髄
タイトル関連情報読み セイゾウ ソウチ ノ ゼンタイ オ フカン スル,ギジュツリョク ノ シンズイ
著者名 佐藤 淳一 ／著
著者名典拠番号

110005670310000

出版地 東京
出版者 秀和システム
出版者カナ シュウワ システム
出版年 2010.5
ページ数 231p
大きさ 21cm
シリーズ名 図解入門
シリーズ名のルビ等 ズカイ ニュウモン
シリーズ名関連情報 How‐nual
シリーズ名関連情報カナ ハウニュアル
シリーズ名２ Visual Guide Book
シリーズ名読み２ ヴィジュアル ガイドブック
価格 ¥1800
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
一般件名 半導体
一般件名カナ ハンドウタイ
一般件名 半導体
一般件名カナ ハンドウタイ
一般件名典拠番号

511311800000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する』（図解入門）　佐藤 淳一／著 　秀和システム　2010.5（所蔵館：中央　 請求記号：/549.8/5183/2010　 資料コード：5018445658）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1108093136

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