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[ 和図書 ] 半導体デバイスシリーズ 3 ( プロセスインテグレーション )

權田 俊一／編集 -- 丸善 -- 2010.9 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.8/5164/3 5018999398 Digital BookShelf
2010/10/26 可能 利用可   0

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ISBN 4-621-08284-3
ISBN13桁 978-4-621-08284-3
タイトル 半導体デバイスシリーズ
タイトルカナ ハンドウタイ デバイス シリーズ
巻次 3
著者名 權田 俊一 ／編集, 谷口 研二 ／編集
著者名典拠番号

110000419870000 , 110001272860000

出版地 東京
出版者 丸善
出版者カナ マルゼン
出版年 2010.9
ページ数 20, 295p
大きさ 21cm
各巻タイトル プロセスインテグレーション
各巻タイトル読み プロセス インテグレーション
各巻著者 谷口 研二／編著,鳥海 明／編著,財満 鎭明／編著,大場 隆之／著,河崎 尚夫／著,綱島 祥隆／著
各巻の著者の典拠番号

110001272860000 , 110005843140000 , 110005843150000 , 110005843200000 , 110005843210000 , 110005843220000

価格 ¥5700
内容紹介 集積回路製造プロセスの専門テキスト。各種プロセス技術を組み合わせて性能向上を図るプロセスインテグレーションについて、個々のプロセスの基本原理を解説した上で、最適な組み合わせを見出すための考え方と知識を提供する。
書誌・年譜・年表 文献:章末
一般件名 集積回路
一般件名カナ シュウセキカイロ
一般件名 半導体
一般件名カナ ハンドウタイ
一般件名典拠番号

511311800000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『半導体デバイスシリーズ 3』（ プロセスインテグレーション）　權田 俊一／編集, 谷口 研二／編集 　丸善　2010.9（所蔵館：中央　 請求記号：/549.8/5164/3　 資料コード：5018999398）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1108187763

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