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[ 和図書 ] はじめてのMEMS

江刺 正喜／著 -- 森北出版 -- 2011.3 --

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /530.0/5033/2011 5020127060 Digital BookShelf
2011/04/26 可能 利用可   0

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ISBN 4-627-78491-8
ISBN13桁 978-4-627-78491-8
タイトル はじめてのMEMS
タイトルカナ ハジメテ ノ メムス
著者名 江刺 正喜 ／著
著者名典拠番号

110000162970000

出版地 東京
出版者 森北出版
出版者カナ モリキタ シュッパン
出版年 2011.3
ページ数 230p
大きさ 21cm
版及び書誌的来歴に関する注記 工業調査会 2009年刊の再刊
版及び書誌的来歴に関する注記 工業調査会 2009年刊の再刊
価格 ¥2500
内容紹介 最先端技術MEMS(微小電気機械システム)の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだMEMSの基礎から製作、要素、応用までをわかりやすく解説する。
一般件名 マイクロマシン
一般件名カナ マイクロマシン
一般件名 マイクロマシン
一般件名カナ マイクロマシン
一般件名典拠番号

510237800000000

分類：都立NDC10版 530
資料情報1 『はじめてのMEMS』　江刺 正喜／著 　森北出版　2011.3（所蔵館：中央　 請求記号：/530.0/5033/2011　 資料コード：5020127060）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1108362669

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