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[ 和図書 ] 薄膜工学

金原 粲／監修 -- 丸善出版 -- 2011.6 -- 第2版

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.8/5044/2011 5020640927 Digital BookShelf
2011/07/26 可能 利用可   0
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ISBN 4-621-08414-4
ISBN13桁 978-4-621-08414-4
タイトル 薄膜工学
タイトルカナ ハクマク コウガク
著者名 金原 粲 ／監修, 吉田 貞史 ／編著, 近藤 高志 ／編著, 日本学術振興会薄膜第131委員会 ／編集企画
著者名典拠番号

110000347640000 , 110001257840000 , 110004850020000 , 210000032070000

版表示 第2版
出版地 東京
出版者 丸善出版
出版者カナ マルゼン シュッパン
出版年 2011.6
ページ数 12, 295p
大きさ 21cm
版及び書誌的来歴に関する注記 初版:丸善 2003年刊
版及び書誌的来歴に関する注記 初版:丸善 2003年刊
価格 ¥3800
内容紹介 薄膜技術の基本事項から、微細加工技術を用いた2次元・3次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術まで、分かりやすく解説する。
一般件名 薄膜
一般件名カナ ハクマク
一般件名 薄膜
一般件名カナ ハクマク
一般件名典拠番号

511306800000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『薄膜工学』第2版　金原 粲／監修, 吉田 貞史／編著 , 近藤 高志／編著　丸善出版　2011.6（所蔵館：中央　 請求記号：/549.8/5044/2011　 資料コード：5020640927）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1108442814

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