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[ 和図書 ] よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み リソグラフィ技術の核心に迫る ( 図解入門 )

佐藤 淳一／著 -- 秀和システム -- 2011.10 --

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配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.7/5089/2011 5021131765 Digital BookShelf
2011/10/23 可能 利用可   0
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ISBN 4-7980-3063-0
ISBN13桁 978-4-7980-3063-0
タイトル よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み
タイトルカナ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ
タイトル関連情報 リソグラフィ技術の核心に迫る,微細化の鍵
タイトル関連情報読み リソグラフィ ギジュツ ノ カクシン ニ セマル,ビサイカ ノ カギ
著者名 佐藤 淳一 ／著
著者名典拠番号

110005670310000

出版地 東京
出版者 秀和システム
出版者カナ シュウワ システム
出版年 2011.10
ページ数 271p
大きさ 21cm
シリーズ名 図解入門
シリーズ名のルビ等 ズカイ ニュウモン
シリーズ名関連情報 How‐nual
シリーズ名関連情報カナ ハウニュアル
シリーズ名２ Visual Guide Book
シリーズ名読み２ ヴィジュアル ガイドブック
価格 ¥2000
内容紹介 リソグラフィの基礎から発展までの技術を、プロセスフローを例にして豊富なイラストで分かりやすく解説した入門書。半導体製造現場に近い視点も取り入れ、歴史的経緯にも触れながら説明する。
書誌・年譜・年表 文献:p271
一般件名 リソグラフィー
一般件名カナ リソグラフィー
一般件名 リソグラフィー , 半導体
一般件名カナ リソグラフィー,ハンドウタイ
一般件名典拠番号

510268700000000 , 511311800000000

分類：都立NDC10版 549.7
資料情報1 『よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み リソグラフィ技術の核心に迫る』（図解入門）　佐藤 淳一／著 　秀和システム　2011.10（所蔵館：中央　 請求記号：/549.7/5089/2011　 資料コード：5021131765）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1108516842

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