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[ 和図書 ] フォトレジスト材料の評価 ノボラックレジストから最新EUVレジストまで

関口淳／著 -- サイエンス&テクノロジー -- 2012.3 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /578.4/5204/2012 7100588666 Digital BookShelf
2012/07/13 可能 利用可   0
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ISBN 4-86428-037-2
ISBN13桁 978-4-86428-037-2
タイトル フォトレジスト材料の評価
タイトルカナ フォトレジスト ザイリョウ ノ ヒョウカ
タイトル関連情報 ノボラックレジストから最新EUVレジストまで
タイトル関連情報読み ノボラックレジスト カラ サイシン EUV レジスト マデ
著者名 関口淳 ／著
著者名典拠番号

011023452790000

出版地 東京
出版者 サイエンス&テクノロジー
出版者カナ サイエンス アンド テクノロジー
出版年 2012.3
ページ数 253p
大きさ 26cm
価格 10000円
書誌・年譜・年表 文献あり
一般件名 感光性樹脂-ndlsh-00576718,リソグラフィー-ndlsh-00576369
一般件名カナ カンコウセイジュシ-00576718,リソグラフィー-00576369
分類：都立NDC10版 578.4
資料情報1 『フォトレジスト材料の評価 ノボラックレジストから最新EUVレジストまで』　関口淳／著 　サイエンス&テクノロジー　2012.3（所蔵館：中央　 請求記号：/578.4/5204/2012　 資料コード：7100588666）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1152078936

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