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[ 和図書 ] ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 成膜技術と膜・界面の物性科学

-- エヌ・ティー・エス -- 2012.7 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.8/5249/2012 7100919983 Digital BookShelf
2012/10/05 可能 利用可   0
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ISBN 4-86469-039-3
ISBN13桁 978-4-86469-039-3
タイトル ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術
タイトルカナ ナノエレクトロニクス ニ オケル ゼツエン チョウハクマク ギジュツ
タイトル関連情報 成膜技術と膜・界面の物性科学
タイトル関連情報読み セイマク ギジュツ ト マク カイメン ノ ブッセイ カガク
出版地 東京
出版者 エヌ・ティー・エス
出版者カナ エヌティーエス
出版年 2012.7
ページ数 2, 4, 338, 11p 図版22p
大きさ 27cm
価格 ¥38000
内容紹介 半導体市場拡大の鍵を握る絶縁膜の超薄膜化技術。ナノエレクトロニクスとして集積回路を主題に据え、集積回路における超薄膜化ニーズに関して説明を行う。
一般件名 薄膜-00562857-ndlsh
一般件名カナ ハクマク-00562857
一般件名 薄膜 , 絶縁・絶縁材料 , ナノテクノロジー
一般件名カナ ハクマク,ゼツエン ゼツエン ザイリョウ,ナノテクノロジー
一般件名典拠番号

511306800000000 , 511084200000000 , 510207500000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 成膜技術と膜・界面の物性科学』 　エヌ・ティー・エス　2012.7（所蔵館：中央　 請求記号：/549.8/5249/2012　 資料コード：7100919983）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1152115637

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