資料詳細

[ 和図書 ] 液浸リソグラフィのプロセスと材料 ( エレクトロニクスシリーズ )

東木達彦／監修 -- シーエムシー出版 -- 2012.8 --

所蔵

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ISBN	4-7813-0550-9
ISBN13桁	978-4-7813-0550-9
タイトル	液浸リソグラフィのプロセスと材料
タイトルカナ	エキシンリソグラフィノプロセストザイリョウ
著者名	東木達彦／監修
著者名典拠番号	110004852460000
並列タイトル	Process and Ingredient of Immersion Lithography
特殊な版表示	普及版
出版地	東京
出版者	シーエムシー出版
出版者カナ	シーエムシーシュッパン
出版年	2012.8
ページ数	5, 243p
大きさ	26cm
シリーズ名	エレクトロニクスシリーズ
シリーズ名のルビ等	エレクトロニクスシリーズ
価格	¥3800
内容紹介	第一線で活躍する研究者らが、露光装置、トラック、レジスト材料、マスク、シミュレーションなど、液浸リソグラフィのプロセスと材料に関する最新の技術開発動向、課題、将来展望などを解説する。
一般件名	リソグラフィー-ndlsh-00576369
一般件名カナ	リソグラフィー-00576369
一般件名	リソグラフィー
一般件名カナ	リソグラフィー
一般件名典拠番号	510268700000000
分類：都立NDC10版	549.7
資料情報1	『液浸リソグラフィのプロセスと材料』（エレクトロニクスシリーズ）　東木達彦／監修　シーエムシー出版　2012.8（所蔵館：中央　請求記号：/549.7/5094/2012　資料コード：7100860278）
URL	https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1152122202