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[ 和図書 ] 半導体・MEMSのための超臨界流体

近藤 英一／編著 -- コロナ社 -- 2012.9 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.8/5251/2012 7100962661 Digital BookShelf
2012/10/02 可能 利用可   0
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ISBN 4-339-00837-1
ISBN13桁 978-4-339-00837-1
タイトル 半導体・MEMSのための超臨界流体
タイトルカナ ハンドウタイ メムス ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ
著者名 近藤 英一 ／編著, 上野 和良 ／共著, 内田 寛 ／共著, 曽根 正人 ／共著, 生津 英夫 ／共著, 服部 毅 ／共著, 堀 照夫 ／共著, 森口 誠 ／共著
著者名典拠番号

110004525170000 , 110006260020000 , 110006261780000 , 110006261800000 , 110006261810000 , 110003090800000 , 110006261830000 , 110006261850000

出版地 東京
出版者 コロナ社
出版者カナ コロナシャ
出版年 2012.9
ページ数 7, 227p
大きさ 21cm
価格 ¥3400
内容紹介 気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体の新しい応用の切り口を提供するテキスト。半導体・MEMSの製造プロセスと、乾燥、洗浄、堆積などの基本的なプロセスについて丁寧に解説する。
書誌・年譜・年表 文献:p212～222
一般件名 超臨界流体-ndlsh-01072700
一般件名カナ チョウリンカイリュウタイ-01072700
一般件名 半導体 , マイクロマシン , 超臨界流体
一般件名カナ ハンドウタイ,マイクロマシン,チョウリンカイ リュウタイ
一般件名典拠番号

511311800000000 , 510237800000000 , 511758900000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『半導体・MEMSのための超臨界流体』　近藤 英一／編著, 上野 和良／共著 , 内田 寛／共著　コロナ社　2012.9（所蔵館：中央　 請求記号：/549.8/5251/2012　 資料コード：7100962661）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1152137265

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