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[ 和図書 ] 半導体プロセス・形状シミュレーション技術 加工精度向上のツボ

重里 有三／共著 -- オーム社 -- 2012.10 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.8/5256/2012 7101174064 Digital BookShelf
2012/11/27 可能 利用可   0

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ISBN 4-274-21274-1
ISBN13桁 978-4-274-21274-1
タイトル 半導体プロセス・形状シミュレーション技術
タイトルカナ ハンドウタイ プロセス ケイジョウ シミュレーション ギジュツ
タイトル関連情報 加工精度向上のツボ
タイトル関連情報読み カコウ セイド コウジョウ ノ ツボ
著者名 重里 有三 ／共著, 高木 茂行 ／共著
著者名典拠番号

110005243660000 , 110006292490000

出版地 東京
出版者 オーム社
出版者カナ オームシャ
出版年 2012.10
ページ数 10, 220p
大きさ 21cm
価格 ¥3800
内容紹介 コスト競争の厳しい半導体産業では、プロセスの効率化やシミュレーション技術が重要。実際の研究開発に役立つ、半導体プロセスとシミュレーション技術を解説する。章末に演習問題も収録。
書誌・年譜・年表 文献:章末
一般件名 半導体-ndlsh-00562913
一般件名カナ ハンドウタイ-00562913
一般件名 半導体 , シミュレーション
一般件名カナ ハンドウタイ,シミュレーション
一般件名典拠番号

511311800000000 , 510166700000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『半導体プロセス・形状シミュレーション技術 加工精度向上のツボ』　重里 有三／共著, 高木 茂行／共著 　オーム社　2012.10（所蔵館：中央　 請求記号：/549.8/5256/2012　 資料コード：7101174064）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1152165643

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