資料詳細

[ 和図書 ] はじめての薄膜作製技術

草野英二／著 -- 森北出版 -- 2012.11 -- 第2版

所蔵

所蔵は 1 件です。

遠隔複写申込みは、東京都在住・在勤・在学の方からお受けいたします。
複写カート機能には、Cookieを使用しています。申込む際はCookieを有効にしてください。

ISBN	4-627-77452-0
ISBN13桁	978-4-627-77452-0
タイトル	はじめての薄膜作製技術
タイトルカナ	ハジメテノハクマクサクセイギジュツ
著者名	草野英二／著
著者名典拠番号	110004643320000
版表示	第2版
出版地	東京
出版者	森北出版
出版者カナ	モリキタシュッパン
出版年	2012.11
ページ数	7, 160p
大きさ	22cm
版及び書誌的来歴に関する注記	初版:工業調査会 2006年刊
価格	¥2500
内容紹介	現代社会を支える基盤技術として欠くことのできない薄膜作製技術。その基礎から、真空蒸着法やスパッタリング法といった真空下における薄膜製作方法、薄膜の評価技術、応用までを解説する。
書誌・年譜・年表	文献:p155～158
一般件名	薄膜-ndlsh-00562857
一般件名カナ	ハクマク-00562857
一般件名	薄膜
一般件名カナ	ハクマク
一般件名典拠番号	511306800000000
分類：都立NDC10版	549.8
テキストの言語	日本語
資料情報1	『はじめての薄膜作製技術』第2版　草野英二／著　森北出版　2012.11（所蔵館：中央　請求記号：/549.8/5264/2012　資料コード：7101497056）
URL	https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1152177520