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[ 和図書 ] EUV光源の開発と応用 ( エレクトロニクスシリーズ )

豊田 浩一／監修 -- シーエムシー出版 -- 2013.3 --

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 書庫 一般図書 /549.9/5227/2013 7101897432 Digital BookShelf
2013/03/29 可能 利用可   0

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ISBN 4-7813-0709-1
ISBN13桁 978-4-7813-0709-1
タイトル EUV光源の開発と応用
タイトルカナ イーユーヴイ コウゲン ノ カイハツ ト オウヨウ
著者名 豊田 浩一 ／監修, 岡崎 信次 ／監修
著者名典拠番号

110003866290000 , 110004012790000

並列タイトル Development and Application of Extreme Ultraviolet Light Source
特殊な版表示 普及版
出版地 東京
出版者 シーエムシー出版
出版者カナ シーエムシー シュッパン
出版年 2013.3
ページ数 6, 273p
大きさ 26cm
シリーズ名 エレクトロニクスシリーズ
シリーズ名のルビ等 エレクトロニクス シリーズ
価格 ¥4400
内容紹介 EUV露光装置の特質、露光装置側から見たEUV光源開発の課題、マスクの状況、レジスト材料の課題など、それぞれ専門的な開発事項についてより広い視点で解説。
一般件名 リソグラフィー-ndlsh-00576369
一般件名カナ リソグラフィー-00576369
一般件名 紫外線 , リソグラフィー
一般件名カナ シガイセン,リソグラフィー
一般件名典拠番号

510864900000000 , 510268700000000

分類：都立NDC10版 549.95
資料情報1 『EUV光源の開発と応用』（エレクトロニクスシリーズ）　豊田 浩一／監修, 岡崎 信次／監修 　シーエムシー出版　2013.3（所蔵館：中央　 請求記号：/549.9/5227/2013　 資料コード：7101897432）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1152230397

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