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目次

1 結晶成長と現代社会

  1.1 結晶成長はどのように役に立ってきたか

  1.2 学問としての結晶成長

2 結晶成長を理解するための準備

  2.1 熱・統計力学の初歩

  2.2 結晶とは何か

3 結晶の表面

  3.1 結晶の表面エネルギーと平衡時における結晶の外形

  3.2 平らな面と荒れた面

4 核形成

  4.1 核形成の考え方

  4.2 核形成の熱力学

  4.3 臨界核

  4.4 核形成速度

  4.5 核生成のモンテカルロシミュレーション

  4.6 実験による核形成の観察

5 表面拡散と結晶成長

  5.1 らせん転位と結晶成長

  5.2 らせん転位による成長のモンテカルロシミュレーション

  5.3 分子線エピタキシにおける表面拡散

  5.4 有機金属気相成長法における表面拡散

6 成長形態の安定性

  6.1 成長表面の安定性に関する古典論

  6.2 摂動法を用いた成長表面の安定・不安定解析-Mullins-Sekerka理論

7 巨大ステップ

  7.1 巨大ステップとは何か

  7.2 巨大ステップの形成メカニズム

  7.3 巨大ステップの理論的解析

  7.4 巨大ステップの界面濃度分布と過飽和度分布

  7.5 巨大ステップと不純物分布

  7.6 巨大ステップと宇宙実験

  7.7 シリコン融液成長における巨大ステップの形成

8 結晶面間の表面拡散

  8.1 結晶成長によるマイクロ・ナノ構造

  8.2 面間拡散と結晶に取り込まれるまでの拡散距離

  8.3 面間拡散方向の逆転現象

  8.4 面間拡散を利用したマイクロ・ナノ構造の制御

  8.5 形態制御の理論解析

9 偏析

  9.1 平衡偏析

  9.2 平衡偏析が行われている場合の成長結晶内の不純物分布

  9.3 非平衡偏析

10 マイクロチャネルエピタキシ

  10.1 マイクロチャネルエピタキシの考え方

  10.2 マイクロチャネルエピタキシの発想の原点

  10.3 水平マイクロチャネルエピタキシ

  10.4 垂直マイクロチャネルエピタキシ

11 宇宙における結晶成長

  11.1 微小重力とは何か

  11.2 微小重力実験の意味

  11.3 半導体の微小重力実験

  11.4 宇宙実験の今後

付録

  A 平衡形と成長形

  B Zeldovich因子

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