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[ 和図書 ] 現場のスパッタリング薄膜Q&A 反応性高速スパッタの実務アドバイス

小島 啓安／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2015.2 -- 第2版

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所蔵館 所蔵場所 資料区分 請求記号 資料コード 所蔵状態 資料の利用
配架日 協力貸出 利用状況 返却予定日 資料取扱 予約数 付録注記 備考
中央 2F 一般図書 /549.8/5121/2015 7105558472 配架図 Digital BookShelf
2015/04/24 可能 利用可   0

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ISBN 4-526-07366-3
ISBN13桁 978-4-526-07366-3
タイトル 現場のスパッタリング薄膜Q&A
タイトルカナ ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー
タイトル関連情報 反応性高速スパッタの実務アドバイス
タイトル関連情報読み ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
著者名 小島 啓安 ／著
著者名典拠番号

110005341500000

版表示 第2版
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版者カナ ニッカン コウギョウ シンブンシャ
出版年 2015.2
ページ数 9, 437p
大きさ 21cm
価格 ¥3300
内容紹介 太陽電池や燃料電池などを作る際に役立つスパッタ技術。現場で遭遇する疑問を、スパッタリングプロセスの第一人者が、Q&A形式でわかりやすく解説。実際にスパッタリングを使った薄膜作製の開発現場での失敗談も盛り込む。
書誌・年譜・年表 文献:p425～434
一般件名 薄膜-ndlsh-00562857,スパッタリング-ndlsh-01155699
一般件名カナ ハクマク-00562857,スパッタリング-01155699
一般件名 薄膜 , 真空技術
一般件名カナ ハクマク,シンクウ ギジュツ
一般件名典拠番号

511306800000000 , 511006900000000

分類：都立NDC10版 549.8
資料情報1 『現場のスパッタリング薄膜Q&A 反応性高速スパッタの実務アドバイス』第2版　小島 啓安／著 　日刊工業新聞社　2015.2（所蔵館：中央　 請求記号：/549.8/5121/2015　 資料コード：7105558472）
URL https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1152591400

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