| ISBN |
4-908520-03-7
|
| ISBN13桁 |
978-4-908520-03-7
|
| タイトル |
半導体加工装置の開発史
|
| タイトルカナ |
ハンドウタイ カコウ ソウチ ノ カイハツシ
|
| タイトル関連情報 |
半導体の微細化と製造のシステム化への挑戦
|
| タイトル関連情報読み |
ハンドウタイ ノ ビサイカ ト セイゾウ ノ システムカ エノ チョウセン
|
| 著者名 |
向井久和
／監修,
通研半導体技術史 (装置編) 編集委員会
／編著
|
| 著者名典拠番号 |
011501588280000
,
210000038200000
|
| 並列タイトル |
Development of semiconductor fabrication equipment
|
| 出版地 |
[厚木]
|
| 出版者 |
日本電信電話先端集積デバイス研究所
|
| 出版者カナ |
ニホン デンシン デンワ センタン シュウセキ デバイス ケンキュウジョ
|
| 出版年 |
2016.3
|
| ページ数 |
303p
|
| 大きさ |
30cm
|
| 出版等に関する注記 |
発行所: サイバー出版センター
|
| 価格 |
5000円
|
| 書誌・年譜・年表 |
文献あり
|
| 一般件名 |
半導体製造装置-001237257-ndlsh
|
| 一般件名カナ |
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ-001237257
|
| 分類：都立NDC10版 |
549.8
|
| 資料情報1 |
『半導体加工装置の開発史
半導体の微細化と製造のシステム化への挑戦』 向井久和／監修,
通研半導体技術史 (装置編) 編集委員会／編著
日本電信電話先端集積デバイス研究所 2016.3（所蔵館：中央
請求記号：D/549.8/5319/2016
資料コード：7108521500）
|
| URL |
https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1152856942 |
