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[ 和図書 ] よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み製造装置の全体を俯瞰する ( 図解入門 )

佐藤淳一／著 -- 秀和システム -- 2016.8 -- 第2版

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所蔵館	所蔵場所	資料区分	請求記号	資料コード	所蔵状態	資料の利用
配架日	協力貸出	利用状況	返却予定日	資料取扱	予約数	付録注記	備考
中央	書庫	一般図書	/549.8/5183/2016	7107871406		Digital BookShelf
2016/09/20	可能	利用可			0

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資料詳細

ISBN	4-7980-4726-3
ISBN13桁	978-4-7980-4726-3
タイトル	よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
タイトルカナ	ヨクワカルサイシンハンドウタイセイゾウソウチノキホントシクミ
タイトル関連情報	製造装置の全体を俯瞰する,あなたの知らない日本の実力がわかる
タイトル関連情報読み	セイゾウソウチノゼンタイオフカンスル,アナタノシラナイニホンノジツリョクガワカル
著者名	佐藤淳一／著
著者名典拠番号	110005670310000
版表示	第2版
出版地	東京
出版者	秀和システム
出版者カナ	シュウワシステム
出版年	2016.8
ページ数	259p
大きさ	21cm
シリーズ名	図解入門
シリーズ名のルビ等	ズカイニュウモン
シリーズ名関連情報	How‐nual
シリーズ名関連情報カナ	ハウニュアル
シリーズ名２	Visual Guide Book
シリーズ名読み２	ヴィジュアルガイドブック
価格	¥2000
内容紹介	洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
書誌・年譜・年表	文献:p259
一般件名	半導体製造装置-001237257-ndlsh
一般件名カナ	ハンドウタイセイゾウソウチ-001237257
一般件名	半導体
一般件名カナ	ハンドウタイ
一般件名典拠番号	511311800000000
分類：都立NDC10版	549.8
資料情報1	『よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み製造装置の全体を俯瞰する』（図解入門）第2版　佐藤淳一／著　秀和システム　2016.8（所蔵館：中央　請求記号：/549.8/5183/2016　資料コード：7107871406）
URL	https://catalog.library.metro.tokyo.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1152868418

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